電感耦合等離子體光譜儀(ICP-OES)是利用電感耦合等離子體作為激發(fā)源的無機元素分析儀器，能同時測定多種金屬和非金屬元素，適配常量到痕量濃度分析，應用覆蓋科研與工業(yè)多領域。

　　電感耦合等離子體光譜儀的工作原理如下：

　　高頻振蕩器產生的高頻電流通過耦合系統(tǒng)連接至等離子體發(fā)生管上端的銅制線圈。石英制成的等離子體發(fā)生管內設有三個同軸氬氣流經通道：

　　冷卻氣(Ar)：通過外部及中間通道環(huán)繞等離子體，穩(wěn)定等離子體炬并冷卻石英管壁，防止管壁受熱熔化。

　　工作氣體(Ar)：由中部石英管道引入，啟動高壓放電裝置使其電離。電離氣體經過高頻感應圈時，線圈產生的巨大熱能和交變磁場使電子、離子與基態(tài)原子反復碰撞，形成溫度高達6000-10000℃的等離子體炬區(qū)。

　　樣品經處理制成溶液后，通過超霧化裝置轉化為全溶膠，由底部導入管內并經軸心石英管噴入等離子體炬。樣品氣溶膠進入等離子體焰時，絕大部分立即分解為激發(fā)態(tài)的原子和離子。當這些激發(fā)態(tài)粒子返回基態(tài)時，會釋放特定波長的光譜。通過測定每種元素的特征譜線和強度，并與標準溶液對比，即可確定樣品中元素的種類和含量。