電感耦合等離子體光譜儀(ICP-OES)是利用電感耦合等離子體作為激發(fā)源的無(wú)機(jī)元素分析儀器，能同時(shí)測(cè)定多種金屬和非金屬元素，適配常量到痕量濃度分析，應(yīng)用覆蓋科研與工業(yè)多領(lǐng)域。

　　電感耦合等離子體光譜儀的工作原理如下：

　　高頻振蕩器產(chǎn)生的高頻電流通過(guò)耦合系統(tǒng)連接至等離子體發(fā)生管上端的銅制線圈。石英制成的等離子體發(fā)生管內(nèi)設(shè)有三個(gè)同軸氬氣流經(jīng)通道：

　　冷卻氣(Ar)：通過(guò)外部及中間通道環(huán)繞等離子體，穩(wěn)定等離子體炬并冷卻石英管壁，防止管壁受熱熔化。

　　工作氣體(Ar)：由中部石英管道引入，啟動(dòng)高壓放電裝置使其電離。電離氣體經(jīng)過(guò)高頻感應(yīng)圈時(shí)，線圈產(chǎn)生的巨大熱能和交變磁場(chǎng)使電子、離子與基態(tài)原子反復(fù)碰撞，形成溫度高達(dá)6000-10000℃的等離子體炬區(qū)。

　　樣品經(jīng)處理制成溶液后，通過(guò)超霧化裝置轉(zhuǎn)化為全溶膠，由底部導(dǎo)入管內(nèi)并經(jīng)軸心石英管噴入等離子體炬。樣品氣溶膠進(jìn)入等離子體焰時(shí)，絕大部分立即分解為激發(fā)態(tài)的原子和離子。當(dāng)這些激發(fā)態(tài)粒子返回基態(tài)時(shí)，會(huì)釋放特定波長(zhǎng)的光譜。通過(guò)測(cè)定每種元素的特征譜線和強(qiáng)度，并與標(biāo)準(zhǔn)溶液對(duì)比，即可確定樣品中元素的種類和含量。